Vacuum processing apparatus

WO2020100400 Art A1 22. Mai 2020

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020100400
Aktenzeichen: EP19884879
Anmeldetag: 12. September 2019
Veröffentlichung: 22. Mai 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/00C23C14/34H01L21/285H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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