Cleaning module, substrate processing apparatus including cleaning module, and cleaning method

WO2020100609 Art A1 22. Mai 2020

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020100609
Aktenzeichen: EP19883487
Anmeldetag: 31. Oktober 2019
Veröffentlichung: 22. Mai 2020
Rechtsraum: WO
IPC: B24B41/06H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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