Lift pin holder assemblies and bodies including lift pin holder assemblies

WO2020101808 Art A1 22. Mai 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020101808
Aktenzeichen
EP19884363
Anmeldetag
26. September 2019
Veröffentlichung
22. Mai 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/687H01L21/67H01L21/02C23C16/458
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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