Peald processes using ruthenium precursor
WO2020101974
Art A1
22. Mai 2020
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020101974
- Aktenzeichen
- EP19884848
- Anmeldetag
- 6. November 2019
- Veröffentlichung
- 22. Mai 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/455C23C16/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
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