Formation method and annealing device for epitaxial layer and 3d nand memory

WO2020102990 Art A1 28. Mai 2020

Anmelder: Yangtze Memory Technologies Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020102990
Aktenzeichen
EP18940996
Anmeldetag
20. November 2018
Veröffentlichung
28. Mai 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Yangtze Memory Technologies Co., Ltd.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Yangtze Memory Technologies

Chinesisches Unternehmen aus Wuhan, das NAND-Flash-Speicherchips entwickelt und produziert.

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