Verfahren und Beschichtungsanlage zum Herstellen Beschichteter Optischer Komponenten

WO2020104270 Art A1 28. Mai 2020

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020104270
Aktenzeichen: EP19805606
Anmeldetag: 13. November 2019
Veröffentlichung: 28. Mai 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/04C23C14/50G02B1/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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