Beveled part treatment agent composition and method for manufacturing wafer

WO2020105340 Art A1 28. Mai 2020

Anmelder: CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020105340
Aktenzeichen
EP19887536
Anmeldetag
21. Oktober 2019
Veröffentlichung
28. Mai 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304H01L21/312
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

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