Amorphous germanium waveguides for spectroscopic sensing and data communication applications

WO2020106958 Art A1 28. Mai 2020

Anmelder: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY, POSTELNICU, Eveline, AGGARWAL, Samarth, WADA, Kazumi, MICHEL, Jurgen, KIMERLING, Lionel, C., CLARK, Michelle, L., AGARWAL, Anuradha, M. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020106958
Aktenzeichen: EP19888092
Anmeldetag: 21. November 2019
Veröffentlichung: 28. Mai 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/24C23C14/54H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
POSTELNICU, Eveline
AGGARWAL, Samarth
WADA, Kazumi
MICHEL, Jurgen
KIMERLING, Lionel, C.
CLARK, Michelle, L.
AGARWAL, Anuradha, M.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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