Method for preparing zirconium-aluminium oxide insulating layer thin film and laminated structure using solution method

WO2020108140 Art A1 4. Juni 2020

Anmelder: South China University of Technology 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020108140
Aktenzeichen: EP19890919
Anmeldetag: 16. Oktober 2019
Veröffentlichung: 4. Juni 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L29/786H01L21/336H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: South China University of Technology
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 South China University of Technology

Chinesische Universität mit Sitz in Guangzhou, die als Anmelderin von Patenten aus ihrer technischen und naturwissenschaftlichen Forschung auftritt. Schwerpunkte liegen unter anderem in Materialwissenschaft und Maschinenbau.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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