Systems and methods of cooling objective lens of a charged-particle beam system

WO2020108984 Art A2 4. Juni 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020108984
Aktenzeichen: EP19805913
Anmeldetag: 12. November 2019
Veröffentlichung: 4. Juni 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/141B33Y80/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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