High Voltage Vacuum Feedthrough

WO2020114761 Art A1 11. Juni 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020114761
Aktenzeichen: EP19805287
Anmeldetag: 19. November 2019
Veröffentlichung: 11. Juni 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/248H01J5/34H01J5/46H01J19/60H01J9/32H01J23/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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