Method for producing silicon carbide epitaxial substrate

WO2020115950 Art A1 11. Juni 2020

Anmelder: SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020115950
Aktenzeichen
EP19893275
Anmeldetag
8. August 2019
Veröffentlichung
11. Juni 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/205C23C16/42C23C16/52C30B25/16C30B29/36H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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