Method for producing silicon carbide epitaxial substrate
WO2020115950
Art A1
11. Juni 2020
Anmelder: SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020115950
- Aktenzeichen
- EP19893275
- Anmeldetag
- 8. August 2019
- Veröffentlichung
- 11. Juni 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/205C23C16/42C23C16/52C30B25/16C30B29/36H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumitomo Electric Industries
Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.
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