Film forming apparatus and film forming method

WO2020115962 Art A1 11. Juni 2020

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020115962
Aktenzeichen: EP19893142
Anmeldetag: 29. August 2019
Veröffentlichung: 11. Juni 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/50B05C9/12B05C11/10B05D3/00B05D3/06C23C14/12C23C14/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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