Light source device for exposure

WO2020116081 Art A1 11. Juni 2020

Anmelder: USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020116081
Aktenzeichen
EP19892635
Anmeldetag
7. November 2019
Veröffentlichung
11. Juni 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H05K3/00G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ushio Inc.

Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.

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