Light source device for exposure

WO2020116086 Art A1 11. Juni 2020

Anmelder: USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020116086
Aktenzeichen: EP19894316
Anmeldetag: 8. November 2019
Veröffentlichung: 11. Juni 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B6/42H01S5/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ushio Inc.

Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.

829 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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