Member for plasma processing device and plasma processing device provided with same

WO2020116384 Art A1 11. Juni 2020

Anmelder: KYOCERA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020116384
Aktenzeichen: EP19892829
Anmeldetag: 2. Dezember 2019
Veröffentlichung: 11. Juni 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/08C04B35/10C04B41/87H01L21/3065H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KYOCERA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

9.180 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von