Bis(alkylamino)disilazane compound, bis(alkylamino)disilazane compound-containing composition for forming silicon-containing film

WO2020116386 Art A1 11. Juni 2020

Anmelder: SUMITOMO SEIKA CHEMICALS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020116386
Aktenzeichen
EP19893298
Anmeldetag
2. Dezember 2019
Veröffentlichung
11. Juni 2020
Rechtsraum
WO
IPC
C07F7/02H01L21/316H01L21/318C23C16/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMITOMO SEIKA CHEMICALS CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Seika Chemicals Co., Ltd.

Japanisches Chemieunternehmen der Sumitomo-Gruppe mit Sitz in Hyogo, Hersteller von Spezialchemikalien und Polymeren, unter anderem superabsorbierenden Polymeren. Patente betreffen vor allem Polymer- und Materialtechnik.

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