Bis(alkylamino)disilazane compound, bis(alkylamino)disilazane compound-containing composition for forming silicon-containing film
WO2020116386
Art A1
11. Juni 2020
Anmelder: SUMITOMO SEIKA CHEMICALS CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020116386
- Aktenzeichen
- EP19893298
- Anmeldetag
- 2. Dezember 2019
- Veröffentlichung
- 11. Juni 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C07F7/02H01L21/316H01L21/318C23C16/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SUMITOMO SEIKA CHEMICALS CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumitomo Seika Chemicals Co., Ltd.
Japanisches Chemieunternehmen der Sumitomo-Gruppe mit Sitz in Hyogo, Hersteller von Spezialchemikalien und Polymeren, unter anderem superabsorbierenden Polymeren. Patente betreffen vor allem Polymer- und Materialtechnik.
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Vertreten von
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