Substrate transport device and operation method for substrate transport device

WO2020116510 Art A1 11. Juni 2020

Anmelder: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020116510
Aktenzeichen: EP19894247
Anmeldetag: 4. Dezember 2019
Veröffentlichung: 11. Juni 2020
Rechtsraum: WO
IPC: B25J13/08H01L21/677H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von