Group 4 transition metal compound, method for preparing same and method for forming thin film using same

WO2020116770 Art A1 11. Juni 2020

Anmelder: KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020116770
Aktenzeichen: EP19893330
Anmeldetag: 18. Oktober 2019
Veröffentlichung: 11. Juni 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C07F7/28C07F7/00C23C16/40C23C16/455H01L21/02H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Research Institute of Chemical Technology

Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon, tätig in der Entwicklung von Chemikalien, Materialien und Verfahrenstechnik.

1.126 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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