Single cell in-die metrology targets and measurement methods

WO2020117361 Art A1 11. Juni 2020

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020117361
Aktenzeichen
EP19894028
Anmeldetag
30. September 2019
Veröffentlichung
11. Juni 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66H01L21/67G01N21/95
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von

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