Dimension measurement device, dimension measurement program, and semiconductor manufacturing system

WO2020121564 Art A1 18. Juni 2020

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020121564
Aktenzeichen: EP19894962
Anmeldetag: 4. Juli 2019
Veröffentlichung: 18. Juni 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01B21/00G06N20/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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