Post Chemical Mechanical Polishing Cleaning Compositions
WO2020123112
Art A1
18. Juni 2020
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020123112
- Aktenzeichen
- EP19897430
- Anmeldetag
- 20. November 2019
- Veröffentlichung
- 18. Juni 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C11D3/00C11D3/26C11D3/28C11D3/04C11D3/36C11D1/72C11D11/00H01L21/321
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
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