Post Chemical Mechanical Polishing Cleaning Compositions

WO2020123112 Art A1 18. Juni 2020

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020123112
Aktenzeichen
EP19897430
Anmeldetag
20. November 2019
Veröffentlichung
18. Juni 2020
Rechtsraum
WO
IPC
C11D3/00C11D3/26C11D3/28C11D3/04C11D3/36C11D1/72C11D11/00H01L21/321
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ENTEGRIS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

1.106 Patente in unserer Datenbank

Vertreten von

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