A method and apparatus for aligning a probe for scanning probe microscopy to the tip of a pointed sample

WO2020126136 Art A1 25. Juni 2020

Anmelder: IMEC VZW, KATHOLIEKE UNIVERSITEIT LEUVEN 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020126136
Aktenzeichen: EP19769823
Anmeldetag: 23. September 2019
Veröffentlichung: 25. Juni 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01Q10/06G01Q60/30G01Q60/50H01J37/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
KATHOLIEKE UNIVERSITEIT LEUVEN
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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