Vorrichtung zur Probenuntersuchung für ein Atmosphärisches oder Druckvariables Rasterelektronenmikroskop, Mikroskopiesystem sowie Mikroskopieverfahren

WO2020126146 Art A1 25. Juni 2020

Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAND 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020126146
Aktenzeichen: EP19789602
Anmeldetag: 8. Oktober 2019
Veröffentlichung: 25. Juni 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAND
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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