Metrology sensor, illumination system and method of generating measurement illumination with a configurable illumination spot diameter

WO2020126257 Art A1 25. Juni 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020126257
Aktenzeichen: EP19802195
Anmeldetag: 19. November 2019
Veröffentlichung: 25. Juni 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B6/42G02B27/09G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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