Sacrifical device for protecting an optical element in a path of a high-power laser beam

WO2020126387 Art A2 25. Juni 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020126387
Aktenzeichen: EP19809087
Anmeldetag: 28. November 2019
Veröffentlichung: 25. Juni 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00H01S3/00H01S3/034

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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