Method of manufacturing semiconductor devices using a heat transfer fluid comprising fluorinated compounds having a low gwp

WO2020127666 Art A1 25. Juni 2020

Anmelder: SOLVAY SPECIALTY POLYMERS ITALY S.P.A. 🇮🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020127666
Aktenzeichen: EP19829162
Anmeldetag: 19. Dezember 2019
Veröffentlichung: 25. Juni 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C09K5/10H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SOLVAY SPECIALTY POLYMERS ITALY S.P.A.
Land: 🇮🇹 Italien

🇧🇪 Solvay

Belgischer Chemiekonzern mit Sitz in Brüssel, tätig in den Bereichen Spezialchemikalien, Materialien und Kunststoffe für Industrie und Konsumgüter. Das Unternehmen wurde 1863 gegründet.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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