Method for producing coating film-forming composition for lithography

WO2020130005 Art A1 25. Juni 2020

Anmelder: NISSAN CHEMICAL CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020130005
Aktenzeichen: EP19900477
Anmeldetag: 18. Dezember 2019
Veröffentlichung: 25. Juni 2020
Rechtsraum: WO
IPC: B01D36/00G03F7/11G03F7/16B01D15/00B01J20/22B01J20/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NISSAN CHEMICAL CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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