Compositions and methods for post-cmp cleaning of cobalt substrates
WO2020131313
Art A1
25. Juni 2020
Anmelder: ENTEGRIS, INC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020131313
- Aktenzeichen
- EP19897690
- Anmeldetag
- 25. November 2019
- Veröffentlichung
- 25. Juni 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C11D11/00C11D3/00C11D3/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.