Defect inspection device, inspection method, and optical module

WO2020136785 Art A1 2. Juli 2020

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020136785
Aktenzeichen: EP18945225
Anmeldetag: 27. Dezember 2018
Veröffentlichung: 2. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/88G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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