Vapor phase growth device

WO2020137170 Art A1 2. Juli 2020

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020137170
Aktenzeichen
EP19905598
Anmeldetag
5. November 2019
Veröffentlichung
2. Juli 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/205H01L21/677H01L21/673C23C16/458C23C16/54
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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