Vapor phase growth device
WO2020137170
Art A1
2. Juli 2020
Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020137170
- Aktenzeichen
- EP19905598
- Anmeldetag
- 5. November 2019
- Veröffentlichung
- 2. Juli 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/205H01L21/677H01L21/673C23C16/458C23C16/54
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SUMCO CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumco
Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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