Method for cleaning optical film thickness measurement system

WO2020137653 Art A1 2. Juli 2020

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020137653
Aktenzeichen: EP19902295
Anmeldetag: 16. Dezember 2019
Veröffentlichung: 2. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/013B08B3/02B24B49/12B24B55/06H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von

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