Pad temperature adjusting device, pad temperature adjusting method, polishing device, and polishing system
WO2020137802
Art A1
2. Juli 2020
Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020137802
- Aktenzeichen
- EP19905609
- Anmeldetag
- 19. Dezember 2019
- Veröffentlichung
- 2. Juli 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B24B37/015B24B37/12B24B49/14H01L21/304G05B13/02G16Y10/25G16Y20/10G16Y40/35
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EBARA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
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Vertreten von
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