Electrostatic chuck device

WO2020138179 Art A1 2. Juli 2020

Anmelder: TOMOEGAWA CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020138179
Aktenzeichen: EP19905618
Anmeldetag: 25. Dezember 2019
Veröffentlichung: 2. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H02N13/00H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOMOEGAWA CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tomoegawa

Tomoegawa ist ein japanischer Hersteller von Spezialpapieren und Funktionsmaterialien mit Sitz in Tokio, der unter anderem Materialien für Elektronik und optische Anwendungen produziert. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik- und Fototechnik sowie Halbleiter- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.

256 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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