Method for manufacturing meta-structure having slot

WO2020138816 Art A2 2. Juli 2020

Anmelder: CENTER FOR ADVANCED META-MATERIALS, KOREA INSTITUTE OF MACHINERY-MATERIALS 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020138816
Aktenzeichen: EP19903019
Anmeldetag: 18. Dezember 2019
Veröffentlichung: 2. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027H01L29/16H01L21/3065H01L21/78H01L21/67H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: CENTER FOR ADVANCED META-MATERIALS
KOREA INSTITUTE OF MACHINERY-MATERIALS
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Machinery & Materials

Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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