Magnetized substrate carrier apparatus with shadow mask for deposition

WO2020139626 Art A1 2. Juli 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020139626
Aktenzeichen: EP19906375
Anmeldetag: 17. Dezember 2019
Veröffentlichung: 2. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/50C23C14/04C23C14/35C23C14/14C23C14/56H01F41/04H01F1/04H01L49/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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