Methods and apparatus for enhancing selectivity of titanium and titanium silicides during chemical vapor deposition

WO2020139683 Art A1 2. Juli 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020139683
Aktenzeichen: EP19903334
Anmeldetag: 19. Dezember 2019
Veröffentlichung: 2. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/14C23C16/42C23C16/505C23C16/04C23C16/56

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.783 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von