Apparatus for obtaining optical measurements in a charged particle apparatus

WO2020141091 Art A2 9. Juli 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020141091
Aktenzeichen: EP19832931
Anmeldetag: 19. Dezember 2019
Veröffentlichung: 9. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/22H01J37/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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