Liquid Precursor Degasser

WO2020141669 Art A1 9. Juli 2020

Anmelder: KOREA RESEARCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020141669
Aktenzeichen: EP19907560
Anmeldetag: 20. Juni 2019
Veröffentlichung: 9. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67C23C16/448H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KOREA RESEARCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Research Institute of Standards and Science

Der Anmelder ist ein südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut für Metrologie mit Sitz in Daejeon, bekannt als KRISS. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiterbauelemente, Software und Medizintechnik. Anmeldungen laufen seit 2002 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von