Machine learning for metrology measurements

WO2020142301 Art A1 9. Juli 2020

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020142301
Aktenzeichen: EP19907235
Anmeldetag: 23. Dezember 2019
Veröffentlichung: 9. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G06N20/10G06N3/08G01N21/88G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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