Distance measurement between gas distribution device and substrate support at high temperatures

WO2020142367 Art A1 9. Juli 2020

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020142367
Aktenzeichen: EP19907506
Anmeldetag: 27. Dezember 2019
Veröffentlichung: 9. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/52C23C16/455G01B11/02G01B11/14H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von