Surface protection method for sensor/actuator having movable structure, and sensor/actuator assembly having movable structure
WO2020143356
Art A1
16. Juli 2020
Anmelder: TSINGHUA UNIVERSITY 🇨🇳
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020143356
- Aktenzeichen
- EP19908178
- Anmeldetag
- 29. November 2019
- Veröffentlichung
- 16. Juli 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C28/00C23C16/455C23C16/44C23C14/24C23C14/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TSINGHUA UNIVERSITY
- Land
- 🇨🇳 China
🇨🇳
Tsinghua University
Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.
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