Elastic guiding device, positioning device, blade and lithographic apparatus

WO2020143993 Art A1 16. Juli 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020143993
Aktenzeichen: EP19821078
Anmeldetag: 12. Dezember 2019
Veröffentlichung: 16. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20B23Q1/36F16C11/12F16C29/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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