Reaction chamber comprising a rotating element for the deposition of a semiconductor material

WO2020144577 Art A1 16. Juli 2020

Anmelder: LPE S.P.A., DENSO CORPORATION 🇮🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020144577
Aktenzeichen
EP20702510
Anmeldetag
7. Januar 2020
Veröffentlichung
16. Juli 2020
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/44C30B25/08C30B23/00C30B23/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
LPE S.P.A.
DENSO CORPORATION
Land
🇮🇹 Italien
🇯🇵 Denso

Japanischer Automobilzulieferer mit Sitz in Kariya (Präfektur Aichi). Denso entwickelt Antriebs, Klima, Sicherheits und Elektroniksysteme für Fahrzeuge sowie Komponenten für Elektromobilität, Fahrerassistenz und Halbleitertechnik.

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