Vacuum processing apparatus

WO2020144891 Art A1 16. Juli 2020

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020144891
Aktenzeichen: EP19909128
Anmeldetag: 2. September 2019
Veröffentlichung: 16. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/56B65G17/06B65G17/48B65G49/07C23C14/50H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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