Polishing device

WO2020144911 Art A1 16. Juli 2020

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020144911
Aktenzeichen
EP19908461
Anmeldetag
18. Oktober 2019
Veröffentlichung
16. Juli 2020
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/015B24B49/12H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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