Vacuum processing device, cleaning method for vacuum processing device

WO2020145207 Art A1 16. Juli 2020

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020145207
Aktenzeichen: EP19908932
Anmeldetag: 27. Dezember 2019
Veröffentlichung: 16. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205H01L21/3065H01L21/31C23C16/44C23C16/455C23C16/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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