Hydrogenation and nitridization processes for modifying effective oxide thickness of a film

WO2020146030 Art A1 16. Juli 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020146030
Aktenzeichen: EP19908587
Anmeldetag: 18. Oktober 2019
Veröffentlichung: 16. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/28H01L21/285H01L29/45H01L21/324H01L29/40H01L21/321H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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