Semiconductor metrology based on hyperspectral imaging

WO2020146438 Art A1 16. Juli 2020

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020146438
Aktenzeichen: EP20738694
Anmeldetag: 8. Januar 2020
Veröffentlichung: 16. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/95G01N21/88G06T7/00G01B11/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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