Defect classification and source analysis for semiconductor equipment

WO2020146708 Art A1 16. Juli 2020

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020146708
Aktenzeichen: EP20739062
Anmeldetag: 10. Januar 2020
Veröffentlichung: 16. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/95G01N21/88G06N3/04G06N3/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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